超精密非球面・自由曲面加工机ULC/ULG系列、LG系列
ULC/ULG系列是以高效率、高精度地车削、磨削自由曲面(f-θ透镜)及非球面透镜及其模具为目的而开发的。另外,优化的机床结构和选件可用于各种应用,具有很高的性价比。
加工示例
车削加工示例
工件规格

加工状态

表面光洁度 Ry: 6 nm, Ra: 0.7 nm

形状精度 P-V: 0.046 μm

立轴磨削加工案例
超精密V-V滚针导轨面

加工状況

表面光洁度Ry: 25 nm, Ra: 3.5 nm

形状精度 P-V: 0.054 μm

斜轴磨削加工案例
进给驱动方式
工件规格

加工状态

表面光洁度 Ry: 20 nm, Ra: 3 nm

形状精度 P-V: 0.065 μm

(注) 上述数据是ULG-100D(H3)的加工结果。属于案例展示,并非机台验收数据。